中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9102945 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体や薄膜材料のエッチングやパターニングに用いられるフォトレジスト機器です。薄膜材料を目的形状に正確かつ正確にパターニングすることができます。フォトリソグラフィープロセスで優れた性能を発揮するように設計されており、基板の損傷を最小限に抑えた高分解能パターンを生成することができます。TEL ACT 12ユニットは、光源、レンズ、絞り、スキャナなど、複数の部品で構成されています。光源は、基板の均一な露出のための均一な光ビームを生成する多波長UV光源です。レンズはより大きな視野を提供し、クリーンなパターン実行のための解像度を向上させるように設計されています。絞りは、均一で正確なパターニングのための光源を形成するために使用されます。スキャナはまた、迅速かつ正確なパターン作成のための大面積スキャンフィールドを提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON ACT12機の基本エッチング工程は、シーケンシャルパターンに従います。まず、フォトレジストを基板上に回転させます。このプロセスは、所望のエッチングパターンを取得するために十分に制御する必要があります。これは、フォトレジストが塗布される前に粘度、スピン速度、温度を調整することによって行われます。第二に、基板はUV光源にさらされます。光線はレンズと絞りによって集中して形成され、正確なパターン化を実現します。第三に、フォトレジストを開発し、目的の形状の基板上にパターン化します。最後に、基板をエッチングして目的のパターンを作成します。ACT 12ツールは、信頼性が高く効率的な産業用フォトリソグラフィーツールです。その精密パターニング機能は、半導体および薄膜部品の効率的な生産のための最高水準の品質を提供します。また、広いスキャン場と多波長の光源により、さまざまな材料のエッチングやパターニングに使用するのに理想的なツールです。TOKYO ELECTRON ACT 12アセットは、エレクトロニクス業界における集積回路などのエッチングとパターニングに有効なフォトレジストモデルです。