中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9088377 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、紫外線を利用してフォトレジスト素材を露出しパターンを作成するフォトレジスト機器です。このパターンは、シリコンウェーハなどの基板にエッチングして集積回路部品やデバイスを作成することができます。TEL ACT 12は「5-in-1」システムで、5つの異なるコンポーネントを1つのユニットに収納します。これには、スキャナ、アクセプター、UVランプ、コントローラ、および接触露出ユニット（CEU）が含まれます。スキャナーは、フォトレジスト材料の上を繰り返しパターンで移動し、分子を紫外線にさらす装置です。アクセプターは、紫外線露光に最適な温度までレジストを冷却する凝縮ユニットです。CEUは、空気密度の高い環境でレジストと光源を保持するチャンバーで、露出安定性を助け、均一な結果を生み出します。UVソースは、特に300-400 nm波長範囲のUVスペクトルを放射する高性能ランプです。このタイプの光は、フォトレジストの暴露に必要です。コントローラはユニット全体を実行し、露出のためのすべてのパラメータが確実に満たされます。TOKYO ELECTRON ACT12は、フォトレジストを細かく露出することができます。この精度により、シリコンウェーハ上にトランジスタやコンデンサなどのさまざまな部品を複製できる複雑なパターンが得られます。また、0.5µmのように薄いフィルムを露出する機能もあり、生産コストを効率的にして収量を増やす必要があります。さらに、ACT 12は信頼性が高く、コスト効率も優れています。そのため、ユーザーフレンドリーで非常に効果的なため、マイクロチップや集積回路の製造に最適です。結論として、ACT12マシンは、マイクロチップやその他の統合コンポーネントの生産のための強力なツールです。その汎用性と正確な結果、したがって、それはそれらのアプリケーションのためのトップの選択肢になります。