中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9042727 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。サブマージョンチャンバー、高温ベーキングシステム、オートアライナーの3つの主要コンポーネントで構成されています。このユニットは、スピンコート、ベーク、プレベーク、および開発プロセスに至るまで、多数のフォトレジストプロセスを管理するのに理想的です。TEL ACT 12内のチャンバーは、空気圧式のクローズドループ型のサブマージョンタイプです。これは、耐圧性であり、フォトレジストの処理のための安全な環境を提供します。さらに、循環ノズルはフォトレジスト溶液の均一な分布を保証します。これにより、機械的な攪拌が不要になります。高温ベーキングマシンは、ウェーハの均一な加熱を提供します。それは単一のヒーターによって動力を与えられ、プログラム可能なクラスターによって制御される単一の段階、熱地帯のベーキングを使用します。その温度設定は、フォトレジストの多段温度ベーキングに適しています。オートアライナーは、フォトマスクをすばやく測定し、適切な位置に調整します。精密モータ駆動のアナウトアライナーを搭載しています。使用される広視野の視野は、エラーと不一致を最小限に抑えます。さらに、ウェーハ位置の自動制御を使用して、適切な位置合わせが行われるようにします。TOKYO ELECTRON ACT12は全体的にフォトレジスト応用プロセスに適しています。その耐圧チャンバーは、安全な低圧処理を実現します。さらに、その高温ベーキングツールは、多段温度ベーキングを提供することができます。最後に、オートアライナーにより、迅速かつ正確なマスクツーウェーハアライメントが可能になります。これらのコンポーネントを組み合わせることで、感度の高い半導体製造プロセスに最適なフォトレジスト資産となります。