中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293630207 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 293630207
ヴィンテージ: 2003
System 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、フォトリソグラフィのプロセスを自動化するフォトレジスト機器です。この技術は、フォトレジストと呼ばれる薄膜にマスクが正確なパターンを出荷できるようにすることで、集積回路ウェーハの製造を目的としています。TEL ACT 12フォトレジストシステムの主な特長は、電子ビームライティングユニット、第二世代非接触乾燥開発機などです。電子ビームライティングツールは、フォトレジストフィルム上のパターンを作成するために使用されます。これは、高周波電子のビームをフィルムに集中させることによって行われ、基板上の高分解能パターンの露出を可能にします。これにより、パターンの製造において高い精度と精度が得られます。アセットにはプログラム可能な一連の書き込みパラメータが含まれており、ユーザーは露出プロセスのさまざまな側面を制御することができます。第2世代の非接触乾燥開発モデルは、特にスループットを高め、パターン歪みの発生を最小限に抑えるのに役立ちます。本装置により、開発中に高解像度パターンをフォトレジストに転送することが可能です。これは、適切な溶媒を持つ液体を使用して基板からフォトレジストを溶解させることによって行われますが、フォトレジストへの溶媒の付着によりパターンが維持されます。TOKYO ELECTRON ACT12フォトレジストシステムは、高精度アライメントユニットも備えています。これにより、マスクと基板のアライメントが正確であることを保証し、印刷パターンのエラーの可能性を最小限に抑えます。さらに、機械には高度な光学OCRツールが装備されており、基板上のデータの正確な読み取りと印刷が可能です。結論として、ACT 12フォトレジスト資産は、高度で自動化されたフォトリソグラフィーモデルです。パターニングプロセスにおいて高い精度と精度を提供するように設計されており、効率を最大限に高めるために高度な電子ビームと非接触乾燥開発技術を利用しています。さらに、優れた精密アライメント装置と光学OCRシステムにより、印刷パターンの精度が保証され、東京エレクトロンアクト12は、すべての半導体パターニングのニーズに最適です。
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