中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293630206 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、さまざまな半導体製造用途に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、幅広い重要なフォトリソグラフィ工程を処理することができ、エンジニアは10ナノメートルという小さな高分解能機能を達成することができます。プログラム可能なマルチパワーソースを備えており、オーバーレイとパターン転送の面で高い柔軟性を実現します。TEL ACT 12のユニットアーキテクチャは、リソグラフィーテーブル、光学部品、パターニング機能など、既存の機器を最大限に活用するために作成されました。ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースにより、エンジニアはより高い精度を得るためのリバースプロービングなど、これまでにない精度で複雑な電子パターンを簡単に作成できます。TOKYO ELECTRON ACT12は、高い速度と精度で動作する信頼性の高い堅牢なモーションコントロールマシンを備えています。そのデュアルビームスキャナは、ガルバノメートルスキャンと電動θ -zステージを備えた高精度の多層イメージングを可能にし、パターンの最適な設計を支援するための幅広い調整を提供します。統合された制御コンポーネントは、自動化された、心配のない動作と精度を提供します。このツールは、露出サイクル時間を短縮し、スループットを向上させるように設計されています。さらに、アセットは強力なアライメントおよび最適化機能を提供し、優れた欠陥検出機能を提供し、フォトレジストのハンドリング信頼性を高めます。TOKYO ELECTRON ACT 12は、優れた性能と信頼性をお客様に提供するよう設計されています。このモデルは半導体および電子工学の企業で非常に成功し、比類のない露出の均等性および安定した、反復可能な露出の線量制御を提供します。ユーザーは迅速な投資収益と生産性の向上を期待できます。さらに、この装置は、より高い歩留まり、ステップカバレッジの向上、ウェーハ間の一貫したパフォーマンスを確保するために構築されています。