中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #293610279 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、クリティカルリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、高度なパフォーマンスレベルの機能とコンポーネントを備えており、ユーザーは高精度で高品質の印刷パターンを生成することができます。このユニットは、精密アライメントステージ、自動位置決めソフトウェア、およびリアルタイム露出制御モジュールの組み合わせで構成されています。機械の二重版の段階はZ軸を傾け、回し、そして調節できます。アライメントステージには、露出フィールドのサイズと位置を正確に測定するための一連の精密エンコーダとクローズドループのアライメントシステムが装備されています。自動位置決めソフトウェアを使用すると、ツール全体を複雑な露出パターンに設定できます。このアセットはマルチゾーン露出モードも備えており、複数の露出領域を正確に制御するために使用できます。このモードは、従来の単一の露光技術よりも高い解像度で複雑な露光パターンを作成するために使用できます。さらに、マルチゾーンモードを使用して、パターンを複数の露出領域に分割することで、特定の露出パターンに必要な露出時間を短縮できます。このモデルには、露出フィールドを監視し、露出パラメータが許容範囲内に維持されるようにするために使用されるリアルタイム露出制御モジュールも装備されています。本装置の光学ユニットは、LED照射方式を採用しており、高輝度露光を実現しています。このユニットは、ほとんどの従来の露光システムよりも最大200倍明るい露光レベルを生成することができます。このマシンには、露出制御とデータ分析のためのソフトウェアツールの選択も含まれています。これらのツールは、露出条件を微調整し、実際の露出前に潜在的な問題の露出フィールドを監視する機能をユーザーに提供します。TEL ACT 12は、印刷パターンに高い精度と精度を要求される方のための高度なリソグラフィーツールです。アセットの複数のコンポーネントと精密に焦点を当てた設計により、ハイエンドのリソグラフィ作業の実行可能なオプションとなります。