中古 TEL / TELIUS Immersion #9267456 を販売中

TEL/TELIUS Immersionは、光の深い浸透を特徴とするフォトレジストシステムで、高密度フォトリソグラフィでより精密な解像度を実現します。集積回路やマイクロエレクトロニクス部品の微細加工に使用されています。TEL Immersionは、特定の波長の光に敏感なポリマーフィルムであるフォトレジスト材料を使用しています。フォトレジストに適用される光は、目的のパターンを基板にエッチングすることを可能にするその特性を変化させます。フォトレジストを液体に浸すことで、より多くの光がフォトレジストに浸透し、被写界深度と解像度を高めます。TELIUS Immersionには、従来のフォトリソグラフィと比較していくつかの利点があります。被写体の深さが増すため、より効率的であり、精度の高い高精度画像を生成することができます。また、追加の化学薬品や高価な機器を必要としないため、非常に費用対効果が高く、大量生産プロセスに最適です。さらに、プロセス時間が短くなるため、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品の迅速な生産が可能になります。浸漬プロセスは、以前に洗浄され、処理された基板にフォトレジストの層を堆積することから始まります。露光ステップでは、レーザーなどの光源で照らされ、希望する場所でフォトレジストを露出します。フォトレジストの浸透した領域は、その特性の変化を経験し、その後のエッチング工程で抵抗除去を可能にします。これにより、基板にエッチングされたパターンやデザインが得られます。最後に、フォトレジストは削除されます。検査の後、基板はさらに処理されるか、そのまま使用されます。TEL/TELIUS Immersionは、高解像度と高精度、高速かつコスト効率の高い生産、材料の無駄を最小限に抑える利点を提供します。