中古 TEL DUO #293670501 を販売中

TEL DUOは、電子部品および光電子部品の製造に使用されるフォトレジスト材料の機器です。それは2つのポリマー層の組合せであり、それぞれ異なる反応染料を持つ。この点で、システム材料全体を総称して「フォトレジスト」と呼んでいます。DUOは東京エレクトロン（TEL）によって開発され、半導体デバイスの製造工程で使用されています。それは優秀な化学薬品および環境の抵抗および光熱腐食にフォトレジストとして機能する機能のために広く利用されています。TEL DUOユニットは、シリコーンベースの紫外線（UV）フォトレジスト層を最初にコーティングした2層構造です。このレイヤーは感光性抵抗剤で適用されます。紫外線や化学エッチング技術を用いて、超薄型フォトレジスト層を高精度に作成します。DUOマシンの第二層は、UV露出フォトレジストの上にコーティングされた正トーンのフォトレジスト層です。このレイヤーは、標準のUVレジストで達成可能なものよりも高い精度で写真耐性層にパターンを作成するのに役立ちます。TEL DUOプロセスを適用する際には、基板層の上から紫外線を照射し、上部フォトレジスト層をマスクで露出させます。一旦露出した最上層は、化学試薬を使用してエッチングされ、下のパターン化されたフォトレジスト層が明らかになります。DUOフォトレジストツールの利点は数多くあります。耐薬品性、耐環境性に優れているだけでなく、小型で複雑な電子部品やオプトエレクトロニクス部品の高精度な製造も可能です。さらに、その保護のデュアルレイヤーは、1つのレイヤーよりもはるかに耐久性があるため、過酷な条件にさらされているコンポーネントに寿命を延ばすことができます。最後に、TEL DUOアセットは既存のリソグラフィーシステムで簡単に使用できるため、半導体デバイスやオプトエレクトロニクス部品製造に素早く実装できます。