中古 TAKAGI / SANGYO VHM15LC11 #9394920 を販売中

TAKAGI/SANGYO VHM15LC11は、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品およびデバイスの製造を可能にするように設計されたフォトレジスト機器です。パターニングチャンバーとデリバリーシステム、上下コートチャンバー、統合照明ユニット付きエッチングチャンバー、ドライヤーで構成されています。パターニングチャンバーとデリバリーマシンは、ウエハの露出抵抗面を正確に成形する方法を提供します。これは、従来の光学プロセスを使用して、光とパターン化されたコーティングを追加することによって達成されます。パターンは、電気的に誘導された線の形で表現され、ファインスケールパターンも表現されます。配送ツールは、パターンが正確に整列し、正確に分布することを保証するために特別に設計された光学アセットを備えています。上部と下部のコートチャンバーは、ウェーハ表面に配置されたフォトレジスト材料の事前測定ボリュームを利用しています。上のコートはウェーハへの均一な付着を保障します、最下のコートはパターン化の質を高めるために加えられます。特別に設計された照明モデルは、予めプログラムされた指示に従ってフォトレジストを公開し、ウェーハの表面をパターン化するために使用されます。エッチングチャンバーは、フォトレジストコーティングされたウェハのウェットエッチングを行う能力を提供します。自動化された機器は、エッチングが正確にパターン化され、高品質であることを保証するために設置されています。統合された照明システムは、光密度を使用してパターン化されたエッチングを正確に配置することができます。最後に、ドライヤーは、ウェーハからの余分なフォトレジストの除去を容易にするために使用されます。それは湿気が取り残されず、レジストのすべての痕跡が完全に蒸発することを保証するために乱流を採用しています。これにより、仕上げ工程中に潜在的な欠陥が発生する可能性が低減されます。TAKAGI VHM15LC11は、マイクロエレクトロニクス部品やオプトエレクトロニクス部品の製造において、高い精度を発揮する高機能ユニットです。自動化されたパターニングおよびエッチング容量と統合された照明機は、コンポーネントを専門的に処理して業界最高水準を満たすことができます。