中古 TAKADA TWPS-064-TJ #9266615 を販売中

TAKADA TWPS-064-TJ
製造業者
TAKADA
モデル
TWPS-064-TJ
ID: 9266615
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2011
Cleaning system, 6" 2011 vintage.
TAKADA TWPS-064-TJはマイクロおよび光電子デバイス製造の分野でのアプリケーション用に設計された負の作用フォトレジストシステムです。これは、優れたエッチング抵抗と解像度を提供し、厚膜と薄膜フォトレジストプロセスの両方に適しています。フォトレジストは、紫外線にさらされたときに酸の部位で急速に交差することを可能にする、負の作用を持つ酸設計の式で構成されています。この機能により、微細なパターンを高解像度でエッチングすることができ、マイクロデバイスや光電子デバイスの製造に最適です。フォトレジストは、最大1。4ポイズの粘度を持つペースト状の液体の形で入手できます。ドクターブレード、シルクスクリーン、またはスピンコーティング法を使用して基材に適用できます。レジストを基板に塗布すると、反射マスクまたは非反射マスクを使用して紫外線にさらすことができます。露出した場合、レジストの露出した領域は、酸系式のために急速に交差し、優れたエッチング抵抗を提供する重合構造を作り出します。これにより、エッチングプロセス中にレジストの露出領域のみが影響を受けることが保証されます。その結果、高精度で複雑なパターンを実現することができます。露出後、フォトレジストを開発し、プロセスを完了するために焼く必要があります。開発プロセスは、レジストの露出したが露出していない領域を除去し、ベーキングプロセスは、酸ベースの反応が完全であることを保証し、フォトレジストの過剰な溶媒と非rosslinked成分を除去します。TWPS-064-TJは、精密で複雑なパターンに対して優れたエッチング抵抗を提供する信頼性と高効率のフォトレジストシステムです。酸ベースの数式により、幅広いマイクロおよびオプトエレクトロニクス機器の製造において、信頼性と再現性に優れた結果を提供します。ペースト状の液体は、ドクターブレード、シルクスクリーン、またはスピンコーティング法を使用して基材に塗布しやすい。その後、UV光にさらされ、開発され、複雑で高解像度のパターンの信頼性と再現性の高い結果を得るために焼くことができます。
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