中古 SYSTEMATIX RA/PS-2014A #9103954 を販売中

SYSTEMATIX RA/PS-2014Aは、デジタル半導体デバイス製造用に設計されたフォトレジスト機器です。シリコンウェーハ上の複雑な回路設計を高精度かつ高精度にパターン化するために使用されます。Micromachining （MEMS）やThrough-Silicon Vias （TSV）にも応用されている。システムはWindowsオペレーティングユニットを搭載し、PCプラットフォームで動作します。3軸電動ステージとLED照明を装備し、基板の移動や画像フィールドの照明時の制御性を向上させています。このマシンは、バイナリハーフトーン法を使用して、ウェーハ全体の画像の均一性を実現しています。COBRA 2コントローラを内蔵し、電動ステージと画像フィールドの電流軌道を正確に測定します。ソフトウェアは、負と正のレジストを含むフォトレジスト材料の広い範囲の処理をサポートしています。その高度なユーザーインターフェイスは、プロセスパラメータの最適化された制御と簡単な自動化を可能にします。このツールはオートフォーカス機能を備えており、毎秒2つのデータアップデートがあり、レジスト層の厚さを正確に制御できます。SYSTEMATIX RA/PS-2014Aは、生産ラインにおける精密な回路設計のパターン作成において、優れたプロセス均一性と優れた結果を提供します。迅速なウェーハ転送に最適化され、複数のユーザー間のデータ共有を可能にするメモリバッファが付属しています。統合された高度なアライメントアセットにより、ミクロン単位のアライメント精度が保証され、MEMSダークフィールドイメージングに適しています。レジストストリッピング、ベーキング、スピンコーティング、メッキ、エッチングなど、生産性を高めるために、さまざまなアクセサリーをモデルに用意しています。これらのアクセサリはすべてユーザーインターフェイスにうまく統合されており、プロセス全体をシームレスに制御できます。全体として、SYSTEMATIX RA/PS-2014Aフォトレジスト装置は半導体デバイスの製造に最適なツールです。信頼性が高く、正確で効率的なため、複雑な回路設計を迅速かつ簡単に行うことができます。