中古 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C #9244973 を販売中

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C
ID: 9244973
Systems.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000C Photoresist Equipmentは、マイクロチップおよびフォトニクスデバイス業界向けに高品質のフォトマスクを作成するために使用される最先端のシステムです。フォトマスク処理タスクを実行する際に、最大の生産性、柔軟性、精度をユーザーに提供します。SVS MSX-1000Cは、レーザープロジェクターとセンシングカメラからなる4ビームマスクアライメントユニットを使用して、基板ウエハにステンシルマスクを自動的に配置します。これにより、正確な再現結果が保証され、スループットが向上します。さらに、マスクアライナーには高度なビジョンシステムが搭載されており、基板の自動アライメントと識別、およびマスク位置の自動修正が可能です。SCIENTIAL VALUE SOLUTIONS MSX-1000Cは、可変角度と減衰/倍率の露出、および統合された露出前の補正機を備えています。このツールに含まれるその他の技術は、自動ウェーハ位置検出(AWPD)およびエッジ検出(ED)です。これらの技術により、生産ラインの精度が向上し、バッチ・ツー・バッチの結果が一貫しているほか、より高い解像度でマスクを作成し、ライン幅をより良く制御することができます。さらに、ウェーハMSX-1000C接触面に汚れや歪みを最小限に抑える高度な洗浄および乾燥技術も含まれています。さらに、温度と湿度が制御された環境は、マスクと基板の製造工程で経験される歪みと熱応力を低減するのに役立ちます。SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000Cは、ポリシリコン、窒化ケイ素、金属、ガラスなどの幅広い材料を受け入れることができます。また、直径5インチまでの基板にも対応でき、短時間で大量処理が可能です。全体として、SVS MSX-1000C Photoresist Assetは、フォトマスク処理における最高の精度、制御、柔軟性を提供します。これは、グローバルな精度を達成し、迅速かつ費用対効果の高い方法でプロセス歩留まりを改善しようとするメーカーにとって理想的なソリューションです。
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