中古 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #9302609 を販売中

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000
ID: 9302609
Coater / Developer system.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、クラスの競合システムを上回るスループットで高解像度のフォトマスクイメージングを提供するフォトレジスト機器です。SVS MSX-1000は、強力なイメージング機能と接続性を備えた幅広いアプリケーションをサポートしています。ディープウルトラバイオレット(DUV)イメージング用に設計されており、2。5ミクロンまでのサイズのアプリケーションを備えています。SCIENTIAL VALUE SOLUTIONS MSX1000システムは、複数の技術を組み合わせて、解像度、精度、速度、拡張性においてパフォーマンス上の利点を提供します。まず、MSX-1000の精密な線形ステージは、アライメント光学系で高い精度と再現性を保証します。ステージはまた、高速で長距離加工のために設計されています。第二に、MSX1000は、堅牢な画像露出に空気圧アクチュエータを使用して、均一な画像処理と信頼性の向上を実現する必要があります。第三に、SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000はまた、高速3軸サーボモータと連携して動作する独自のイメージングエンジンを使用して、高スループットマスク画像を提供します。高度なイメージングエンジンには、ナノメートルレベルのフィーチャーサイズ要件のイメージング時に精度と精度を確保するために、さまざまな機能が組み込まれています。SVS MSX1000は最先端の設計に従い、最も要求の厳しいハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントとの容易な接続を可能にします。このユニットは、CAM、シミュレーションおよび処理ソフトウェアと互換性があり、主要な走査型電子顕微鏡、X線および透過型電子顕微鏡(SEM、 XRMおよびTEM)と統合されています。さらに、このマシンは、小型オブジェクトの高速イメージングをサポートする独自のフィールドシーケンシャルレーザーイメージング(FSLI)を備えています。最後に、SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000には、クリーンで機能豊富なイメージングを保証するカラーレーザー露光ツールも装備されています。全体として、SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000の汎用性は、大企業のフォトレジストのニーズに最適なソリューションです。高度なイメージングエンジンと高度な接続機能により、高精度、高精度、特殊なマスクイメージングを最大のスループットで提供できます。
まだレビューはありません