中古 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293760261 を販売中

SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、積極的なリソグラフィー微細ライン処理用に特別に設計されたフォトレジスト露光および開発機器です。このシステムは、ポジティブトーンレジスト処理とネガティブフォトレジスト処理の両方において、最も狭い機能要件に対して継続的なプロセスソリューションを提供するように設計された、プログラム可能な自動露出および開発装置です。このユニットは、精密線形ステージと単軸サーボモータで構成される単一のメカニズムを備えており、機械はX軸とZ軸に沿って最高0。1mm/秒の速度で正確に移動することができます。露出および開発ヘッドは、X、 Y、 Zにおけるユーザー定義のプログラマブルモーションパターンで、空間分解能は1 μ m/ステップである。SVS MSX-1000は、0。4 μ m、 0。5 μ m、 0。7 μ m、 1 μ m、 1。2 μ mを含む複数の解像度を提供します。このツールは、Brightfield、 Darkfield、 Edge Sharpening、 Contrast、 Resolution Enhancementなど、さまざまな露出モードも提供しています。また、可変リピート露光、可変多重露光、多層露光、2D/3Dオフセット露光、3軸同時露光も可能です。また、深紫外線、可視光、赤外線フォトレジストなど、さまざまなフォトレジスト材料にも対応できます。SCIENTIAL VALUE SOLUTIONS MSX1000は、すべての露出および開発パラメータを含む資産設定を簡単に管理、保存、および再ロードするためのユーザーフレンドリーな制御インターフェイスを備えています。さらに、MSX-1000のサーボ駆動モジュール構造は、基板の取り扱いや温度変化にも正確なアライメントと補償を提供します。このモデルは、露光プロセス中に印刷位置と被写界深度を監視することができます利用可能なin-situ計量ツーリングおよび検査装置の範囲が標準で提供されています。SCIENTIAL VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、優れたプロファイル制御、低クリティカル寸法（CD）バリエーション、優れた印刷性を保証し、プロセスのずれやインストゥルメントドリフトによって発生する非効率的な反復を排除します。プロセス効率と信頼性のために設計されており、製品のサイクル時間を短縮するための人件費とコストを最小限に抑えます。その機能と機能により、MSX1000はリソグラフィーの微細ライン印刷に理想的なソリューションを提供します。