中古 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293752296 を販売中

SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000
ID: 293752296
ウェーハサイズ: 4"
(2) Spin coater, 4".
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000フォトレジスト装置は、集積回路製造用のフォトレジストの加工および評価用に設計されています。このシステムは、手動および自動レジスト処理の両方を実行することができます。SVS MSX-1000は、複数のフットスイッチを備えた精密な12ポジションのターンテーブルと、自動処理機能を提供するレジストサプライステーションを備えています。このユニットは、フォトレジストの正確な適用を可能にする高精度モーターと電源で設計されています。キャリブレーションされたビームエミッターを備えており、12インチのターンテーブルエリア全体に均一なレジスト用量を提供します。露出や速度などのさまざまなパラメータは、任意のフォトレジスト処理アプリケーションのために簡単に調整することができます。科学的価値ソリューションMSX1000フォトレジストマシンは、高度なレジスト評価機能を備えています。これにより、フォトレジストの厚さ、均一性、エッチング率、欠陥部位の特性を測定できます。また、レジストモニターカメラを搭載し、ウェーハ加工のリアルタイム目視検査が可能で、必要に応じてフォトレジストパラメータを迅速に調整できます。SVS MSX1000には、すべてのユーザーデータ/設定を保存および追跡する高度なデータ管理アセットもあります。これには、いつでもアクセスできるレジストアプリケーション、データ結果、および監視情報が含まれます。このモデルは、標準的なクリーニングと特殊なクリーニングの両方で動作し、アプリケーションプロセスに抵抗するように設計されており、ユーザーがスループットを最大化するのに役立つ強力なスケジューリング機能を備えています。フォトレジスト機器にMSX1000、ユーザーがプロジェクトを成功させるために必要なすべてのオプションにアクセスできるように、包括的なユーザーガイドとマニュアルも付属しています。このシステムは、品質と生産のさまざまな基準を満たすように設計されており、最大の収量を確保しています。
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