中古 SVS / SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000 #293655273 を販売中

ID: 293655273
ウェーハサイズ: 2"-4"
ヴィンテージ: 2012
Spin coater, 2"-4" 2012 vintage.
SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、フォトマスク加工のための精密レジストコーティングとカスタムテーラードソリューションを備えたビジョンベースのマイクロフォトリソグラフィ装置です。半導体アプリケーション向けに開発されたこの高度なフォトレジストシステムは、比類のない性能と精度を提供します。高度なパターン転送能力により複雑な多層マスク構造を容易にサポートし、100nmから1.2µmまでのプロセスをサポートします。SVS MSX-1000は、厚いレジスト層と薄いレジスト層の両方を塗布する機能を備えた完全自動レジストコーティングユニットです。業界標準のレジストタイプを取り揃えており、リソグラフィーコーティング均一性(LCU)に優れた比率で正確に適用できます。強力な精密レジストコーティングにより、SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000は、高度なパターン化されたウェーハの大幅な運用コスト削減と高速トラック生産を実現します。MSX-1000はまた、迅速な水製造のための高度なマスク設計ツールを利用することにより、より高いスループットを提供しています。高品質のシングルマスクソリューションを提供するだけでなく、SVS MSX1000は複数のマスク操作を生産することができます。このようにして、SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、基板を最大限の精度でマスクするための複数のレジストコーティングを混合およびマッチングするための完全なソリューションを提供します。また、石英、ガラス、クロム、ダイレクトゲートシリコン材料など、さまざまな基板に多層レジストパターンを適用することも可能です。また、レジストストリッピングとドライエッチング機能も備えており、レジストプロファイルを完全に除去できます。SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX1000は、高度なリソグラフィーツールにより、複雑な微細加工プロセスに優れた結果を提供します。また、強力なデータ圧縮と転送機能、CAD制御の自動補正と組み合わせたフォトツールブレンド、4Dモーションコントロールなど、世界をリードする独占的な機能も備えています。最良の結果を保証するために、MSX1000は、ステレオリソグラフィーシステムやレーザー開発システムなど、その機能を補完する他のハイエンドシステムと連携して動作するように設定することができます。SVS/SCIENTIFIC VALUE SOLUTIONS MSX-1000は、ハイエンドおよびウルトラハイエンド機器の製造に最適なプラットフォームです。製造プロセスを通じて、このモデルは、最高品質のウェーハが製造されることを保証します。このような調整可能なコーティングプログラム、強力なパターン転送、複数の材料の均一性と広範なデータ転送機能などの機能の組み合わせは、前例のない性能と精度を提供します。この前例のないパフォーマンスにより、SVS MSX-1000フォトレジストの生産に最適です。
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