中古 SVS MSX-1000 #9409621 を販売中
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SVS MSX-1000は、さまざまな科学および産業用途に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。特殊な点接触シリコン処理環境から生成されるフォトレジスト材料の一種です。このシステムは、超高解像度、高精度フォトリソグラフィ、高解像度紫外線(UV)硬化を組み合わせてフォトレジストパターンに最適です。SVS MSX 1000ユニットは、最大0。5ミクロンで動作し、複雑なフォトリソグラフィープロセスに関連するあらゆる性能パラメータを備えています。それは10ミクロンの範囲に相互接続を作成することに加えて5ミクロンまで特徴サイズを作成することができます。それはまた1ミクロンの決断の微細加工された部品を作り出すことができます。高解像度機能を実現するために、精密ポイントレンズ撮影機を使用しています。これにより、エリア露出技術を採用している同様のシステムと比較して欠陥が少なくなります。さらに、連続可変照明開口サイズを使用することで、露出を最適化し、フィーチャーサイズ制御のさらなる精度を得ることができます。MSX-1000が使用するフォトレジスト技術は、処理時間の短縮と再現性の利点を可能にします。これは、フォトレジストが構造的に露出するのではなく、化学的に処理されるためです。これにより、高分子のばらつきが少ないことが保証されます。このツールはまた、後処理を可能にし、材料を化学的に硬化させて、機械的衝撃や有機溶剤暴露などのストレスに耐性があります。MSX 1000フォトレジスト資産は、画像の歪みを最小限に抑えながら、高解像度の機能を生成することができます。化学加工の使用も有益であり、生産の再現性と高品質な結果の確保を保証します。さらに、迅速なターンアラウンドタイムを提供するように設計されているため、正確で詳細な結果を要求するアプリケーションに最適です。
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