中古 SVS MSX-1000 #9364566 を販売中
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SVS MSX-1000は、スウェーデンのVacuum Systems (SVS)によって開発されたフォトレジスト機器で、先進的な真空システム、イメージング技術、ロボット自動化など、幅広い革新的な技術を統合しています。このシステムは、複数の相互接続されたコンポーネントを1つの統合ユニットに結合する高度な真空技術に基づいています。高速2次元イメージング、真空抽出、真空アプリケーションの組み合わせを利用して、再現性と信頼性の高い結果を保証します。この機械は独自の半自動プロセスを使用しており、樹脂薄膜やMEMS部品の成膜および開発に関して、より高いスループットレベルを実現しています。基板やパターンの詳細なイメージングを可能にするこのツールのイメージング技術は、標準的な光学リソグラフィーと新しいパターニング技術の両方をサポートしています。これは、最大500mm2のサイズの基板をイメージングすることができ、接触から極端なウルトラバイオレットまで、さまざまなイメージングモードを備えています。このアセットは、コントラストイメージングとバックサイド照明を可能にするアクティブなバックライト機能も備えています。真空モデルは、高い精度と再現性を提供しながら、材料や液体を迅速かつ正確に転送することができます。部品の自動搬送用ロボットアーム、薄膜を堆積させる熱蒸発器、金属を堆積させるスパッタリング装置など様々な部品があります。SVS MSX 1000の高度な機能の組み合わせ効果は、平面化またはその後の処理のための保護フォトレジスト層の正確かつ一貫した堆積を可能にすることです。システムのイメージング機能と蒸着機能を組み合わせることで、サブミクロンレベルまで一貫して高品質のマイクロスケールパターンを再現可能な機能を作り出すことができます。さらに、MSX-1000は、堆積プロセスの正確な制御と画像の分析を可能にする包括的なソフトウェアサポートを提供しています。これにより、フォトレジスト層の最適な付着性と、適用された画像の可能な限り最高の解像度が保証されます。MSX 1000は、保護層の堆積を最適化し、さまざまな基板や材料にマイクロスケールパターンを正確に適用するために設計された強力なフォトレジストユニットです。最先端の真空システム、イメージング技術、ロボットオートメーションなど、幅広い革新的な機能を備えており、さまざまな産業用途に最適です。
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