中古 SVG / RITE TRACK 8800/8836 #9217205 を販売中

SVG / RITE TRACK 8800/8836
ID: 9217205
ウェーハサイズ: 6"
Track systems, 6" (3) Post exposure bakes.
SVG/RITE TRACK 8800/8836装置は、半導体製造と集積回路設計の特定の目的のために基板の正確なパターン化のために設計されたフォトレジストシステムです。このユニットは、デジタル画像やコンピュータ支援設計から複雑で正確なマスクパターンを作成することができる高度なアルゴリズムを採用しています。フォトレジスト、またはフォトリソグラフィック材料は、所望のパターンを作成するために、所定の基板に高解像度で適用されます。このフォトレジストマシンを使用して、ユーザーは専門的またはカスタムビルディング技術を必要とせずに、フォトレジストカバレッジとパターンの両方を正確に定義できます。SVG 8800/8836ツールには、基板表面に沿って正確で一貫した露出レベルを提供することができる、セットアップが簡単で使いやすい2つのロボットアームが装備されています。この機能は、レジストを適用するときの正確なタイミングの要件を排除し、高度なカバレッジ制御を可能にします。このアセットによって可能になった精密制御により、非常に正確なレジストカバレッジとパターニング結果が保証されます。さらに、高解像度イメージングを組み込んだ高度なリアルタイムビジョンシステムを採用しています。これらのビジョンシステムは、優れた精度で基板表面の特徴を識別し、望ましいパターンを表すフォトマスクを迅速に生成することができます。視野装置を使用することにより、ユーザーは誤植や不均一なカバレッジを恐れずに希望のパターンを基板に正しく転送することもできます。SVRITE TRACK 8800/8836システムには、マルチレイヤー機能、自動エンドポイント検出、およびデュアルビークルコントロールなどの機能も含まれています。マルチレイヤー機能により、パターンレイヤー間の遷移を迅速かつ正確に行うことができます。自動エンドポイント検出により、フォトレジストの安定性を時間とともに追跡するプロセスが簡素化されます。デュアルビークルコントロールは、ユーザーに追加のレベルのパターン制御を提供し、必要に応じてフォトレジスト層の正確なアプリケーションを可能にします。全体として、RITE TRACK 8800/8836マシンは、半導体製造および集積回路設計に最適です。堅牢な機能と正確な制御により、ユーザーは使用ごとに正確で反復可能なパターンが保証され、このツールは仲間の中で最高の選択肢となります。
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