中古 SVG / RITE TRACK 8800/8836 #9165921 を販売中

SVG/RITE TRACK 8800/8836は、半導体基板への精密機能のパターニングおよび開発に使用するために設計された自動フォトレジスト装置です。このシステムは、フォトリソグラフィ、エッチング、化学機械的平面化、ドーピング、金属蒸着などの半導体製造プロセスに使用できます。SVG 8800/8836ユニットは、高精度フォトパターニング用のデュアルトラックマシンを使用し、開発に抵抗します。このツールの最初のトラックは、ウェーハ上のカスタム機能を正確にパターン化するために設計され、2番目のトラックはレジストの処理と開発に使用されます。このアセットは、熱酸化物、WBCオキシ、GaAs、 SOI、 NiSi、ポリイミドなど、さまざまな機能性材料の開発とパターニングをサポートしています。RITE TRACK 8800/8836モデルには、パターニング用の高度なレーザー装置とウェーハ処理用の正確な配置ステージが含まれています。レーザーシステムは2つのミクロンのスリット光学を利用し、改良されたパターンおよび高められた安定性のための任意ビーム整列を特色にします。また、クイック冷暖房のための可変温度帯や、ウェハナビゲーションが容易な液晶パネルを備えています。マシン全体をコンパクトなシングルピースボディ内に配置し、開発プロセスをより容易にすることができます。この機能により、ツールをクリーンルームのフロアに配置しやすく、複数のプロセスでのセットアップと再構成に必要な時間を短縮できます。高度な熱管理冷却アセットなど、さまざまなオプションもお客様の仕様に合わせてご利用いただけます。SVG 8800/8836は、最も過酷な半導体アプリケーションで使用するために、最も正確で正確なパターンを作成するための重要なツールです。使いやすい機能ツールを提供し、プロセスをすばやくカスタマイズおよび構成できます。このモデルは、正確なパターニングを必要とする大量生産環境に最適であり、精度は開発に抵抗します。