中古 SVG / ASML 90S #9245069 を販売中

SVG/ASML 90Sフォトレジスト装置は、半導体チップの製造に使用されるリソグラフィーツールです。このように、半導体業界では、複雑な機能を備えた、ますます縮小し、ますます強力なチップを生産する能力の重要なコンポーネントです。このシステムは、電子ビームレジスト処理、高度なイメージングオプティクス、ウェーハアライメント技術、および高度なウェーハハンドリングシステムを組み合わせて、可能な限り最高のチップ形状と地形を作成します。SVG 90Sは、光学モジュールとサポートモジュールの2つのコンポーネントで構成されています。光学モジュールには、荷電粒子（電子）カラム、イメージングオプティクス、低真空レジスト露光環境、電子ビーム露光制御に使用されるトリガーユニットが装備されています。光学モジュールは、露光プロセス中にレジストレイヤーに非常に正確な機能を生成するようにプログラムすることができ、ウェーハの地形や印刷エラーによる歪みを補償します。サポートモジュールは、自動ウェーハアライメント、基板処理、およびカセットローディングを提供します。機械全体は、最初に正しい速度になるまでウェーハを回転させることによって動作し、電子ビームカラムはウェーハのレジスト層に電子を撃墜し始めます。電子は、イメージングオプティクスを介してチップ設計の所望の機能に偏向し、焦点を当てています。露光の精度と精度は、光学モジュールのトリガーツールによって制御されます。これは、電子ビームを非常に正確に時間をかけて導くように設計されています。機能露出が完了すると、アセットはウェハをサポートモジュールに移動し、アライメント、カセットローディング、および基板処理を行うようにプログラムされます。光学モジュールの電子ビーム抵抗処理とASML 90Sのサポートモジュールの自動処理の組み合わせは、優れた精度と再現性を提供し、ウェーハ上の望ましい機能を正確に生成し、正確に再現することができます。したがって、このモデルは、高度な半導体チップの製造において非常に貴重であり、製造メーカーはこれまで以上に強力で効率的で小さなチップを作成することができます。