中古 SVG / ASML 90S #9078048 を販売中

SVG / ASML 90S
製造業者
SVG / ASML
モデル
90S
ID: 9078048
ヴィンテージ: 2000
Track system, 2000 vintage.
SVG/ASML 90Sは、ディスプレイ、半導体回路、チップ用トレイやホルダーなど、さまざまな電子部品を製造するために使用されるフォトレジスト機器の一種です。このシステムは、高集積紫外光への曝露を含む様々なプロセスを使用して、シリコンやその他の半導体ベースの基板上のパターンや構造を作成します。このユニットは通常、光源を含むフォトリソグラフィーユニット、最大4台のカメラ、メディア供給メカニズム、および基板をサポートするプラットフォームを使用します。基板は、光源から正確に指定された距離でプラットフォーム上に配置されます。その後、マスクを被覆する基板の上に置き、マスクと光源を基板上に移動させながら、光の強度と露光時間を制御します。その後、マスクと基板を通して紫外線が集中し、基板に塗布されたフォトレジストフィルムが光に反応します。露出時には、写真レジストは溶けにくいものから溶けにくいものに変わり、目的の構造に応じて基板の部分を保護せず、エッチングしたり保護したりすることができます。このプロセスは、異なるマスクで数回繰り返され、基板上に目的の機能を作成します。設計に従って基質が露出され、エッチングされたら、溶媒は露出されなかった写真の抵抗のコーティングを取除くのに使用され、基質は工程の次のステップのために準備ができています。SVG 90Sは高精度なツールであり、基板上の特徴をマイクロメートルレベルまで精密に作成することができます。様々なエレクトロニクス部品の製造に使用することで、製造工程の複雑さが増し、結果の精度が向上しました。
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