中古 SVG / ASML 90S #9077807 を販売中

SVG/ASML 90Sは、シリコン基板に正確にパターンを転送するために設計された、接触印刷を利用したコンピュータ制御フォトレジスト機器です。それはマイクロエレクトロニック回路の生産で使用されます。コンピュータ上に保存され、光学的に集積された光学カラムから基板に投影されたパターン形状を使用します。光学カラムは、焦点要素、イメージング要素、投影要素など、さまざまなレンズを保持しています。光カラムと基板の間にマスクを置き、回路パターンを保持します。投影レンズからの光はマスクを通過し、基板に集中します。光がマスクのパターンを通過すると、フォトレジスト被覆基板に焦点が当てられます。使用するフォトレジスト材料の種類に応じて、光にさらされるか、光から遮断されてフォトレジストのパターンを決定します。SVG 90Sユニットは、目的の設計を基板に正確に再現するパターンジェネレータを備えています。この機械はまた投影され、反射するビームの2つの波面を比較することによって焦点を測定するのに使用される近い格子干渉計を含んでいます。このツールには、ステージの動き、方向、およびZ軸の位置の精度を設定するためのステージコントロールユニットも含まれています。さらに、このアセットにはレーザースキャナーがあり、基板にレーザー光を集中させ、ステージの位置をサブミクロン精度で調整することができます。これにより、投影パターンの位置を維持するために基板を正確に動かすことができます。基板は紫外線光源で露出され、これはフォトレジストを露出するために使用されます。露出したフォトレジストは溶剤で開発され、製造元の指示に従って処理されます。その結果、基板上の回路パターンは、その寸法で正確かつ正確です。このモデルには、装置のパフォーマンスを監視するポストプロセス統合ツールもあり、最高容量で動作することを保証します。ASML 90Sは、プロセッサ、マイクロコントローラ、メモリなどの超高密度および高品質のマイクロコンポーネントの製造に不可欠です。これは、市場で入手可能な最も正確で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。