中古 SVG / ASML 90S #39180 を販売中

SVG/ASML 90Sは、半導体チップの製造に使用される広範なフォトレジスト機器です。これは、光感受性材料（フォトレジスト）を使用して、基板上にそのオンボードコンピュータによって生成されたパターンを転送する、いわゆる間接露光リソグラフィーシステムです。ユニットは最大3つの露出ヘッドで構成できます。このマシンは、スキャナ、ウェーハステージ、マスクアプリケーター、および高速ネットワークを介して接続されているウェーハローダーなど、いくつかのサブシステムで構成されています。スキャナは複数の光学部品と移動ステージで構成されています。ステージは基板を動かすために使用され、高精度モータによって駆動されます。フォトレジストをパターン化するために、特定の波長の光が基板に投影されます。高速、高解像度のステージツールは、光が望ましい強度でそのターゲットに正確に向けられていることを確認します。マスクアプリケータはスキャナ内に配置され、金属マスクを収容して、パターンを基板に投影するために使用されます。金属マスク自体には、指定された波長の光を使用して所望のパターンを生成する絞りと投影ポートが含まれています。ウェーハローダーまたはローダー/アンローダーは、各基板がステージに正しく整列してロードされるようにするだけでなく、基板の出し入れを容易にするために使用されるいくつかのコンポーネントで構成されています。基板がステージ上にあり、マスクがマスクアプリケーターにあると、露出ヘッドが発射され、光線がフォトレジストに集中し、パターンが表面に投影されます。露出ヘッドにはセンサーとコントローラが配列されており、パターンが適切な強度で正確に投影されることを保証します。最後に、ウェハステージを使用してモデルから基板をアンロードし、露出プロセスの次のmaxを設定します。基板がアンロードされると、必要なパターンが基板上に生成されるまで露出プロセスが繰り返されます。SVG 90Sフォトレジスト装置は、高精度で一貫した結果を出すことができるため、大量生産に最適です。