中古 SVG / ASML 90 #9070809 を販売中
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ID: 9070809
ウェーハサイズ: 8"
Track system, 8"
Wafer: notched
(5) Vacuum Bake Ovens
(1) Vapor Prime Oven
(1) Chill Plates
(12) Stations, interfaced
(7) Serial arms
Facilities location: through the floor
Coater and developer direct floor drains with exhausted drain box
IRS rotators and platforms
(1) Coater:
Photoresist Temperature Control
Air Temp / Humidity Control
(2) FAS / Millipore model 250 pumps w/ programming pendant
100cc TEBR Millipore unfiltered pump
(2) 100cc BEBR Millipore unfiltered pumps
(1) 25cc Millipore unfiltered WCDS pump and controller for Track Adhesion Promoter
SVG 25cc Millipore unfiltered pump
Dispense line OD (nozzle tip = 3/8² for Lines # 1.2; = 1/8² for Line # 3)
SVG Pumps and controllers
(1) SS non-coated 3 gallon un-pressurized vessel with 4 liquid level sensors
(2) Developers:
Air Temp / Humidity controller
High flow (2 stream) nozzles and dual chemistry developer fluid dispensing system
(2) Stainless Steel Tefzel coated, 3 gallon pressurized canisters with 4 liquid level sensors
0-60 psi canister gauges
Degasifier on Develop lines
Floor: solid SS spill containment with overflow sensors
Control Module integrated on end station
MCE on IES
SECS I/II interface
Power Requirements 208 volts, 3-phase, star, 60 Hz.
SVG/ASML 90は、集積回路の製造に使用されるフォトレジスト機器です。これは、高度な多段ゲート技術、レーザースキャン露光、およびコンピュータ制御処理を備えた真空スキャンシステムで構成されています。このユニットは、高度な半導体製造において一般的に見られる微細なラインパターンの製造に必要な高精度で堅牢な制御に最適です。SVG 90スキャン機はシリアルビームを使用し、ショットノイズを最小限に抑えた均一な露出を実現します。このツールは最大1000ライン/秒の速度で実行でき、ビームサイズは6〜15 µmです。ステージアセットは、最大25mm/sの速度でダイを露出から開発に移すことができ、10ミクロンの高い位置精度と再現性を備えた非接触転移を提供します。このモデルのコンピューター制御によるスキャンおよび露出パラメータにより、パターニングプロセスを正確に制御できます。ASML 90は、可変レーザーパワーとスポットサイズのレーザースキャン露光装置を使用しています。露出時間は、お客様のプロセスニーズに合わせて柔軟にプログラム可能です。その後、システムにはプログラム可能な開発プロセスが続き、均一性を確保し、回復したレティクルを事前に修飾するための高度なイメージジェット処理技術が装備されています。最後に、処理されたレチクルは自動ソート処理を受けます。90年代の高度なスキャン、露出、加工機能を組み合わせることで、高度な制御と精度を実現し、高精度なパターンや細かいライン機能の生産に最適です。このユニットの柔軟性により、さまざまな露出オプション、拡張されたプロセスパラメータ、および改善された品質管理プログラムが可能になります。SVG/ASML 90の直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースにより、既存の生産ラインに簡単に統合でき、エンジニアは設定をすばやく表示および調整して最適な結果を得ることができます。SVG 90の高いスループットと精度により、半導体生産アプリケーションに最適です。
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