中古 SVG / AIO 86xx #9247857 を販売中

SVG/AIO 86xxシリーズは、先進的な半導体デバイス製造用に設計されたSVGのフォトレジスト機器です。このシステムは、スキャンフォトレジストとスプレーヘッドサブシステムの両方を備えており、幅広い高度なプロセスレベルの優れた欠陥カバレッジ、スループット、および高い歩留まり出力を備えています。このユニットは、マルチレベルパターニング、サブクォーターミクロン機能、およびビアおよび相互接続形成を達成する能力など、さまざまなプロセスに適しています。このマシンは、ライン分解能の良い全面露光と高精度の機能をすばやく切り替えることができます。最大4台のカセットシステムにより、歩留まりとパフォーマンスを維持しながら高速スループットを実現できます。アセットは、タイトフレーム、低放射光照明、低影付け、高均一性を備えています。部分的な影の可能性を排除し、エッジの強度を向上させるように設計されています。このモデルには、迅速かつ正確な平面化アプリケーションと高度な化学/機械処理のための4チャンバースピンコーター/開発ユニットが装備されています。0。4ミクロンの位置精度を持つ9軸エッジジェネレータ装置は、複雑な膜の形成を正確に制御するのに役立ちます。また、マルチビームレーザーイメージングユニットを内蔵しており、出力電力は2KWで、シャドウレスリソグラフィを高速かつ正確に行うことができます。高度な精密オプティクスマシンは、スループット能力を向上させるための広い視野を備えています。光学ソフトウェアは、フォトマスクのアライメントと変形補正を同時に制御することができ、高解像度とスループットを備えた明確な構造を実現します。高度なツール制御、監視、レポート機能により、プロセスのパフォーマンスと資産全体の信頼性に関するフィードバックを迅速に提供できます。このモデルの優れた熱管理機能は、高温フォトレジストやその他の化学物質を処理する際の信頼性の高い動作と出力を保証します。全体として、SVG 86xxシリーズは、高度な半導体デバイスの生産プロセスに優れた歩留まりとスループットを提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。厳密な制御と高精度で複雑なパターン処理が可能で、信頼性の高い結果が得られます。