中古 SVG 90S #9383776 を販売中
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ID: 9383776
(2) Coater / (2) / Developer system
FTC And Semilab unit
(2) Intelligent pumps missing.
SVG 90Sは、半導体製造に使用されるフォトレジスト装置で、マイクロチップなどの半導体デバイスのサブミクロン精度パターンを作成します。ポジティブフォトレジストやネガティブフォトレジストなど、さまざまなフォトレジストと連携できるように設計されています。SVG 90-Sシステムは、レジスト材の残留水分を除去するためのソフトベークから始まる2段階のプロセスです。第二のステップは、材料のパターン化を可能にする紫外線にフォトレジストを公開することです。露出後、露出後のベーキングプロセスを使用して、レジストがレジストフィルムに適切に付着するようにします。90 S単位のネイティブ解像度は0。5 µmです。これにより、非常に小さな機能の高精度パターニングが可能になります。それはまたそれを非常に多目的な機械にする異なったフォトレジストの広い範囲と働くことができる。さらに、このツールは非常に信頼性が高く、一貫した結果が得られます。90S資産には、他にもいくつかのユニークな機能があります。そのような機能の1つは、エラーを検出してフラグを付ける機能です。これにより、肉眼では見えないフォトレジストパターンの欠陥を検出することができます。さらに、このモデルにはユーザーフレンドリーなインターフェースを提供するプロセスモニターが内蔵されています。これにより、フォトレジストプロセスの各ステップの進捗状況を簡単に追跡できます。また、90-S機器は安全な作業環境を維持するように設計されています。圧力センサー、最先端の温度制御、緊急停止など一連の安全対策を備えています。これらの機能はすべて、SVG 90 Sを半導体製造のための非常に有用で効率的なツールにします。
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