中古 SVG 90S #9206219 を販売中

SVG 90S （Sub-micron Vapor-Phase Growth）は、高品質の誘電体、金属、その他の材料をサブミクロンスケールで処理するための信頼性の高い光化学蒸着（PECVD）システムです。一般に、高kおよび低k誘電体膜の蒸着、金属スパッタリング、エッチングなどの幅広い半導体プロセスで使用されます。SVG 90-Sの中心には、直径25mmまでのウェーハを処理できるC2ロータリーリアクターがあります。これは、低圧PECVD処理を実現するために、2つの同心水平シリンダと外部チューブを利用しています。原子炉内では、ウェーハは非常に低い速度でリアクタントガスの正確に制御された混合物にさらされます。これは、材料を蒸発させ、それらを核化させ、ウェーハの表面に成長させます。反応器内の反応種は、プロセスを開始するためにハロゲンランプからの光の点滅によって点火されます。このシステムを通じて、90 Sは、蒸着膜の非常に高い均一性と適合性を達成することができます。これにより、極めてクリティカルな寸法の広いウエハ上の詳細なパターンや厚膜を、残留応力を最小限に抑えて実現できるため、Low-kとHigh-kの両方の蒸着プロセスに最適です。低温で反応するため、基板は清潔な状態を保ち、有機粒子からの汚染のリスクを排除します。さらに、90Sは直感的なタッチスクリーンコントロールパネルによって完全に自動化されています。これにより、成膜速度、ガス流量、温度を高精度で簡単に制御することができます。複数のプロセスレシピを保存して繰り返し可能なアプリケーションにリコールすることができ、複数のレシピを同時に完了することで生産性を向上させることができます。SVG 90 Sは、サブミクロンスケールで高品質の材料をパターン化および堆積することができるため、幅広い半導体アプリケーションに対応する汎用性の高いツールです。その精度と再現性により、サブミクロンレベルのフォトレジスト処理や、スパッタリング、エッチング、接触形成などの補助半導体タスクに最適です。