中古 SVG 90S #293814156 を販売中

SVG 90Sは、超高解像度フォトリソグラフィープロセスを開発するための最先端のフォトレジスト機器です。他のフォトレジストシステムと比較して、優れた解像度とイメージングの均一性を提供するように設計されています。このシステムは、Deep-UV （DUV）プロジェクションリソグラフィに基づいており、6インチのレチクルとフィルムステージを利用しています。SVG 90-Sフォトレジストユニットは、6インチのレチクルパターンを使用し、4×6インチのフィルムステージに投影します。これにより、0。19ミクロンまでの機能の分解能が可能になります。フィルムステージにはサブミクロンステージドライブとステージ補正機が装備されており、フィルムをレチクルに正確かつ再現可能にアライメントできます。さらに、オフアキシアルアライメントツールは、投影パターンが指定されたパターン範囲内にとどまることを保証します。90 Sの投影光学はダイヤモンド回転光学、パルスストレッチャー、および曲げられた動き補償器のような高度の特徴が装備されています。ダイヤモンド回転光学系は、光収差を低減し、投影された画像が最高の解像度でも明確で正確であることを保証します。パルスストレッチャーは、画像の安定性とコントラストを最大化するのに役立ち、曲面運動補償器は、投影パターンがフィルムステージと適切に整列したままにすることを保証します。90Sに使用される高感度フィルムは、最適な接着と残留物や破片を低減するために最適化されています。この特殊なフォトレジストは、他のフォトレジストフィルムのようなスキャンエラーを受けることはありません。さらに、0。1ミクロン未満のレジスト厚は、高精度の機能の生産を可能にします。SVG 90 Sアセットは、イーサネットまたはUSB通信を介して外部コンピュータによって制御されます。直感的なソフトウェアインターフェイスを備えており、アレイやオーバーレイオプションなど、さまざまなツールや機能を提供し、レチクルパターンを最高解像度で設計および印刷できます。結論として、90-Sは非常に洗練された高度なフォトレジストモデルです。ダイヤモンドターニングオプティクス、パルスストレッチャー、カーブモーション補正器などの機能を備え、解像度とイメージングの均一性において最先端の性能を提供します。さらに、ユーザーフレンドリーで直感的なインターフェースと専用フォトレジストを備えており、優れた精度と解像度でファインラインパターンの設計と印刷を可能にします。