中古 SVG 9022IS #9225181 を販売中
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SVG 9022ISは、マスクやフレーム露出用に設計されたフォトレジスト機器で、深紫外光源と紫外線レンズを使用して、基板上に柔らかく硬いマスクパターンを形成します。フォトリソグラフィ技術を使用して、基板のような材料にパターンを転送するスピンオンフォトレジストシステムです。フォトレジスト乾燥機を備えており、開発者は90°Cで使用するように設計されており、より速い治癒時間とパターン化された画像の解像度を向上させることができます。9022ISは最新の技術を使用しているため、プロセスを簡単に制御できます。全光学シングルマスクアーキテクチャに基づいており、ユニット出力は最適なパターンの3次元マスクです。機械はまたライトおよび摩耗への高い抵抗を特色にし、結果のパターンは堅く、精密です。このツールは、優れた均一性と強度の光源を提供する石英陰極ランプを持っています、0.1mWから62.8Wまでの広い出力範囲で、それは低動作温度を利用します。また、高効率接着剤を使用しているため、照明部分を基板に優れた接着性を有しており、接着剤の追加や露出後不要がありません。アセットには、露出中のパラメータを監視および調整するインテリジェント制御モデルがあり、正確な露出量を可能にします。さらに、紫外線で基板を安全かつ損傷のリスクなしに処理することもできます。異物を検出し、非常に高精度で除去することもできます。SVG 9022ISは、パターンを高精度に改善する機能をユーザーに提供します。また、結果が非常に低いレベルになる可能性もあります。それが提供する技術的な利点に加えて、従来のフォトレジストシステムと比較して、パフォーマンスと全体的な安全プロファイルを向上させることができます。この装置はまた、パターンが正確に配置され、優れた精度で製造されることを確認するための高解像度イメージングシステムを提供しています。
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