中古 SVG 90 #9085777 を販売中

SVG 90は、先進的なフォトリソグラフィに適応した最先端の技術から派生した洗練されたフォトレジスト機器です。ガラス、シリコン、化合物などの基板上に複雑な構造を安全かつ正確にパターン化するように設計されています。高解像度UVレーザーを使用し、オールインワンのソフトウェアパッケージによって制御され、微細な形状とパターンを作成するために精密に動作します。このユニットは、Laser Induced Image Generation （LIIG；レーザー誘導画像生成）と呼ばれる画期的なケミカル・フリーのベクトル・エッチング・プロセスを利用しています。このプロセスは、抵抗材料と有害ガスの独自のリザーバーを持つ、従来の化学エッチングの必要性を排除します。その結果、半導体デバイス、MEMS、センサの製造など、さまざまな用途において効率的かつ費用対効果の高い製品となります。90は完全に自動化されたフォトレジストマシンを備えており、高い再現性と一貫性を提供します。プラットフォームサイズはSVG 90mmで、直径200mmまで加工できます。さまざまなフィルムフォーマットが特定の用途に適しており、ツールは簡単にフィルムを再配置してパターンサイズを変更することができます。これに加えて、ユニットは、高品質のパターンの生産のための自動電動アライメントと優れた解像度の処理を提供しています。このユニットには、均一な露出を提供するトップアングルランプからなる最適化された照明アセットが装備されています。また、オートキャリブレーション機能により、1回の撮影ごとに露出時間と照明レベルを自動的に調整することができ、手動で調整することなくパターンの精度を向上させます。さらに、テクスチャ表面反射器とUVフィルターを備えた石英チャンバーにより、露出制御の効率が向上します。要約すると、90は、多数の基板における複雑な構造の効率的かつ費用対効果の高い生産のために設計された高度なフォトレジストモデルです。自動化された操作、精密なレーザー露出、最適化された照明装置により、優れた精度と再現性を備えたパターンを確実に生成できます。さらに、細かく複雑な形状を要求する操作には、そのベクトル付きエッチング工程とケミカルフリー動作が好まれます。