中古 SVG 90 #293814154 を販売中

SVG 90は、半導体ファウンドリやファウンドリに様々な機能を統合するために設計されたフォトレジスト機器です。Sensitive Imaging Technologiesが開発したフルフィーチャー、高性能フォトツールプラットフォームです。90システムは、そのクラスの最新世代のフォトレジストユニットであり、堅牢な性能を提供しながら、開発と生産コストを削減するように設計されています。SVG 90には光学制御と電気制御を一体化したアーキテクチャが採用されており、ハイレベルな機能配置と均一な品質管理が可能です。このマシンは、高度なレーザー光学ツールを多数使用して、自動機能と計測機能を実現しています。これは、機械、レーザー、および電気機械モジュールの組み合わせを利用して、フォトリソグラフィープロセスで最高のものを提供することによって達成されます。90ツールは、均一な光の分布と優れた画質を保証する光学分野の平坦化などの高度な光学が装備されています。カメラ、レーザーシステム、自動測定システム、ロボットアームは、高いスループットで正確なアライメントと機能配置を提供します。このアセットには、フォトレジストの高さを3次元で測定できる3次元マッピング機能も搭載しています。SVG 90は、優れた性能で高解像度のレジスト画像を生成できるシングルウエハ処理モデルです。ポリメチルメタクリレート（PMMA）、アセトン溶解ポリヒドロキシアルキルエステル（PHE）、ノボラック、ポリイミドなど、さまざまなレジストタイプを提供しています。このソフトウェアは幅広い設計機能をサポートし、高精度な生産と複数の露光シーケンスを可能にします。90は、複数の露出時間やステージ制御機構のような変換機能、形状のCADサポート、フォトレジスト計測、内蔵の欠陥検査ツールなど、さまざまなサポート機能を提供します。この機器はまた、高い再現性を備えており、時間の経過とともに製品の一貫性を保証します。要約すると、SVG 90フォトレジストシステムは、半導体製造のための信頼性が高く、費用対効果の高いターンキーソリューションです。このユニットには、統合された光学系、高度なレーザー光学系、自動故障検出および欠陥検査ツールなどの多くの機能が装備されています。90は複雑で敏感な集積回路のための生産そして作成のための理想的な選択および高精度の特徴です。