中古 SVG 90 #293747980 を販売中

SVG 90は、トランジスタなどの半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。これは、シリコン、窒化物、ガラス、および絶縁体（SOI）の基板を含む幅広い基板上にサブミクロンの幾何学を提供することを可能にする、否定的に働く、深紫外線増幅フォトレジストです。90システムは、主にフォトレジストと開発者という2つのコンポーネントで構成されています。フォトレジストは、紫外線にさらされたときに硬化し、ウェーハ上に保護マスクを形成する、光に敏感な液体ポリマーです。開発者は、紫外線によって露出され、硬化された後にフォトレジストを溶解して除去するために使用されるソリューションです。施設レベルでは、SVG 90ユニットはいくつかのサブシステムで構成されています。これには、ステッパー（フォトレジスト層に画像を投影するために使用される）、ベーキングマシン（フォトレジストを蒸発させるために使用される）、処理室、および開発者ツール（フォトレジストをクリーンアップするために使用される）が含まれます。90資産には高い精度と精度が求められます。サブミクロン形状を作成することができ、深度制御も高いため、半導体デバイスの生産に最適です。最適な結果を得るためには、これらの生産プロトコルに厳密に従わなければなりません。例えば、ステッピングモデルは、望ましい結果を得るために、露出前にフォトマスクとウェーハの正確な配置とアライメントが必要です。また、使用されるフォトレジストによって異なる推奨ベーク温度を遵守することも重要です。最後に、フォトレジストの過剰または過剰露出を避けるために、開発者機器を注意深く監視する必要があります。全体として、SVG 90は信頼性の高い使いやすいシステムであり、さまざまな半導体デバイスの製造に使用されています。その精度、拡張性、汎用性は、デバイスメーカーにとって人気のある選択肢です。