中古 SVG 90 #293615917 を販売中

SVG 90は、半導体メーカーShin -Etsu Chemical Corporationが開発した先進フォトレジスト機器です。このシステムは、リソグラフィー塗装プロセスとパターン化されたフォトマスクで構成されています。高度な半導体構造のための高解像度イメージングで複雑な設計を作成するために使用されるツールです。90は紫外線に敏感なフォトレジストコートとフォトマスクで構成されています。フォトマスクは、写真フィルムのパターンでコーティングされたプラスチックまたはガラスの薄いシートです。このパターンは、紫外線の一部をブロックし、基板上にレジスト層を作成するために使用することができるパターンを作成します。フォトレジストのコートは基板に塗布され、続いて基板とマスクを紫外線にさらします。フォトマスクはステンシルとして機能し、そのパターンに対応する領域だけが紫外線にさらされるようにします。光はフォトレジストの反応を引き起こし、基板と反応し、エッチングまたは化学洗浄によって除去されます。SVG 90ユニットは、サブミクロン分解能を生成することができ、非常に細かい、複雑な設計を可能にします。また、信頼性が高く、熱安定性に優れています。これにより、エッチング損傷に対する耐性が高く、さまざまな製造方法に適しています。これらの特徴により、90台の機械は多くの先進的な半導体構造に適しています。MEMS（マイクロエレクトロイド-メカニカルシステム）の製造やナノスケール構造の製造に最も一般的に使用されています。さらに、SVG 90プロセスは費用対効果が高く、環境負荷を低減し、高精度です。これにより、生産プロセスの歩留まりが向上し、より高いスループットが可能になり、コストを大幅に削減できます。結論として、90は信越化学が開発した高度なフォトレジストツールです。これは、リソグラフィー塗装プロセスとパターン化されたフォトマスクで構成されています。この資産は信頼性が高く、サブミクロン分解能を生成します。多くの先進的な半導体構造に適しており、費用対効果が高く、環境負荷を低減します。