中古 SVG 8838 VP #9183892 を販売中
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SVG 8838 VPは、半導体製造における精密エッチング用に設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、フォトレジスト、デベロッパー、ストリッパーの3つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジスト(photoresist)は、エッチング前に基板上の特定の領域をマスクするために使用される、感光特性を有するポリマーの一種です。開発者は、基板の所望の部分にフォトレジストを溶解するために使用され、基材を露出してエッチングする準備ができています。ストリッパーは、残りのフォトレジストをウェーハから取り除くために使用されます。8838 VPフォトレジストユニットは、低粘度の液体状態と0。2ミクロンの高分解能により優れた精度を提供し、極めて精密なエッチング結果を得ることができます。また、表面張力が低く、溶解性が高いため、高速加工にも適しています。このマシンは幅広いプロセス制御を備えており、開発者の正確な制御を可能にするだけでなく、柔軟で効果的なエッチング結果を得るための低い浸食レベルの高エッチング率を備えています。このツールは、複数のアプリケーション用に設計されており、主にシングルレベルおよびマルチレベルパターン生成、および高アスペクト比フィーチャーの作成に使用されます。SVG 8838 VPはまた、優れたはんだ付け性を提供し、非常に微細なエッチングとレーザーダイレクトイメージング(LDI)を可能にします。このアセットは、GaAsやSiCなどの高温感度基板に特に有益な16°C〜28°Cの低基板温度を特長としています。要約すると、8838 VPは精密エッチング用に開発されたフォトレジストモデルです。それは優秀な正確さおよびプロセス制御を提供し、速い行為の結果のための低い表面張力そして高い容解性を提供します。幅広い用途により、シングルレベル、マルチレベルパターン生成など幅広い用途に適しています。また、高温に敏感な基板にも有益です。
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