中古 SVG 8836 HPO #9180737 を販売中
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ID: 9180737
ウェーハサイズ: 6"-8"
Coater / Developer systems, 6"-8"
Process:
Send-prime-chill-coat-bake-receive
Send-bake-chill-develop-bake-receive
Photoresist pumps included.
SVG 8836 HPOは、SVGが開発した高性能、マルチタイプのフォトレジスト機器です。高度なリソグラフィーフィルム成形技術と独自のプロセスを組み合わせ、デバイス製造において優れた結果を達成します。フォトレジスト(Photoresist)は、半導体製造において様々なプロセスに使用できる光感受性材料です。8836 HPOは柔軟性が高く、複数のレジストタイプを軽く露出できるため、最適な結果が得られます。このシステムはまた、優れた処理安定性と汚染に対する耐性を提供します。SVG 8836 HPOは、革新的なタッチフリーアプリケーションと自動噴霧技術を備えており、正確なフォトレジストカバレッジを可能にします。複雑なパターンでも優れた線幅制御を実現するフォトレジストの薄膜を正確にレイヤーできます。また、幅広い動作条件で再現性のある安定した性能を発揮し、マルチフォトレジスト加工に最適です。機械はまた均一な抵抗の適用範囲および高いスループットを保障する高度のオートメーション機能を提供します。高度なスプレー制御ツールと8836 HPOによる柔軟な基板処理により、プロセス条件を安定して一貫した状態に保つことが容易になります。SVG 8836 HPOは半導体産業の厳しい要件を満たすように設計されています。その高性能と優れた結果は、フォトリソグラフィやその他のフォトレジストプロセスに最適です。高品質で一貫したデバイス製造に最適で、生産性の向上とコスト削減のための効率的なソリューションを提供します。
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