中古 SVG 8832 #293667132 を販売中

SVG 8832は、SVGケミカルが開発した高性能フォトレジストシステムです。CMP （Chemical-Mechanical Polishing）レジストの一種で、半導体製造プロセスで使用されています。化学は、クロスリンク可能なフィルムに重合された機能性エポキシドモノマーに基づいています。スピンコーティング後、フィルムは紫外線または可視光にさらされ、重合フィルムのクロスリンクを引き起こします。これにより、CMPシステムで処理する際にレジストを選択的に除去することができます。8832は溶解率が低く、CMPスラリーの安定性に優れています。また、スルーシリコン（TSV）用途に特に有益な低収縮率を備えています。SVG 8832は銅や他の金属にも良好な接着性を備えており、O2およびH2プラズマプロセスと互換性があり、より迅速で信頼性の高いポストポリッシュ処理を可能にします。さらに、8832レジストは、太陽光にさらされたときの光硬化性が低く、ボラティリティが低いため、環境に優しく安全に作業できます。これにより、乾燥またはウェットエッチングプロセスを必要とするプロセスステップでの使用に最適です。さらに、幅広い温度範囲で使用でき、さまざまな用途で使用できます。結論として、SVG 8832は十分に丸みを帯びたフォトレジストシステムであり、さまざまな作業環境と完全に互換性を維持しながら、CMPプロセスの卓越性を提供します。その低収縮率は、アプリケーションを介してシリコンをスルーに特に適していますが、CMPスラリーの溶解率と優れた安定性により、さまざまな化学薬品および基板保護ニーズに適合することができます。