中古 SVG 8826 #9375680 を販売中

SVG 8826は、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用される感光抵抗システムです。レジストは、パターンを作成するために放射線にさらされるスピンオン技術を使用してウェーハ表面に堆積されます。その後、レジストは化学処理を受けて、さまざまなエッチングおよび移植プロセスの信頼性の高いマスキング材料として機能するクロスリンク構造を作成します。レジストシステムは、フィルム層、バッファ層、重合可能な層の3つの層で構成されています。フィルム層は、インシデント放射から光子を吸収し、重合して安定した層を形成する化学増幅レジストです。緩衝層はエッチング工程で助ける熱可能なポリマーから成っています；基板の互換性を維持しながらエッチング率を向上させます。重合可能な層は放射線に敏感であり、露出時に重合反応を受ける。このレイヤーは、露出パターンによって作成されたパターンに忠実さを維持しながら、エッチングに対する耐性をさらに高めます。レジストは248nmの波長で深い紫外線にさらすことができ、それによって光感受性を高めます。また、8826は450°Cまでの温度で優れた熱安定性を示します。これにより、複雑な製造プロセスを経ながらもレジスト層の構造的整合性が維持されます。また、Si、 SiGeC、 Sapphireなど様々な基材に使用できます。溶剤ベースのレジストアーキテクチャは、化学蒸着（CVD）や低圧化学蒸着（LPCVD）など、さまざまな蒸着プロセスとも互換性があります。SVG 8826システムは非常に安定した、信頼できる感光性の抵抗を提供します。それは製作プロセスの広い範囲で使用することができ450°Cまで温度に耐えることができます。様々な成膜プロセスや基板材料に対応し、マイクロエレクトロニクス用途における汎用性をさらに高めています。