中古 SVG 8826 #9375679 を販売中

SVG 8826はShipley Company、 LLCによって開発されたフォトレジスト装置です。半導体・集積回路製造工程向けに設計された多層レジストシステムです。ウェーハエッチング、リソグラフィー、誘電成膜、ウェーハ薄型化、バックグラインド、ダイシングなど、幅広いプロセスで優れた性能を発揮するように設計されています。8826は、3層からなる正の化学増幅（CA）多層フォトレジストで構成されています。中間の層はQC/PMIRの層です；そして最上層は反応性イオンエッチング（RIE）および他の高エネルギーエッチングプロセスからの基礎層のための保護を提供するPSIRの層です。このマシンは、クリティカルなレイヤーをパターン化したり、一般的または高度なI/Oスキームで1 2µmの機能を提供するなど、重要なフォトリソグラフィーアプリケーションのパフォーマンスを向上させるように設計されています。優れた検出マージン、高解像度プロファイル、およびエッチング抵抗を備えています。また、優れた反射率制御、光露光制御、オーバーレイ登録性能も備えています。さらに、このアセットは、分解能、接着性、エッチング、露光緯度のプロセス余白を改善するように設計されています。プラズマをベースとした塩素（Cl2）またはフッ素（F2）を使用することで、SiO2上の安全なレジストストリッププロセスを実現CHF3、従来のウェットストリップ技術のプロセス制御を向上させます。このモデルはまた、粒子や金属の汚染を最小限に抑えることで、困難なクリーンルーム条件を提供します。最後に、SVGレジスト装置は、前面（フェースシフト）、背面（イプシロンリソグラフィ）、i-lineおよびKrF露光、正と負のトーン、ハーフトーンのマルチビーム露光、厚いフィルム/低kアプリケーションなど、幅広いプロセス条件をサポートします。また、単層、二重層、三重層など、幅広いコーティング構成を備えています。