中古 SVG 8820 #293749266 を販売中

SVG 8820は、集積回路（IC）デバイスの製造において信頼性の高いリソグラフィープロセスを可能にするフォトレジストシステムです。セルフアライドダブルパターニング（SADP）やピッチスプリットダブルパターニング（PSC）などのダブルパターニングアプローチに最適化されたポジティブトーンのディープUVレジストです。これは、IC用の小さなフィーチャーサイズを作成するコストを下げるための不可欠なツールであることが証明されています。8820システムの中心にはフォトレジスト材料があります。薄く均一なフィルムで半導体ウェーハに応用できるように設計された液体フォトレジストです。紫外線レーザーなどの光源にさらされると、フォトレジストは化学反応を起こし、それが開発者のソリューションに不溶性になる。この選択的不溶解性は、リトグラフ構造の開発を可能にします。SVG 8820は、193 nmの浸漬リソグラフィーツールで使用するために最適化されています。シングルパターニングアプローチとダブルパターニングアプローチの両方に対応しています。その深い紫外線吸収性は、従来のフォトレジストよりも高い解像度を可能にし、シングルおよびダブルパターニングプロセスの両方で深紫外波長の露出を保証します。さらに、8820の吸収性により、ラインエッジの粗さが改善され、地形やラインエンド効果が低下します。さらに、SVG 8820は従来のフォトレジストよりも高い感度を示し、1日あたりの露出ウェーハのスループットを向上させます。開発者ソリューションへの溶解性により、露出後処理を迅速に行うことができます。また、ウェーハレベルのシュリンク用の印刷用インクにも適しており、ウェーハサイズの広い範囲のリソグラフィ工程をスケールアップするのに特に有利です。8820は、チップ製造で最も要求の厳しいプロセスのための高度なリソグラフィープロセスで使用するために設計されています。高解像度と高感度により、ダブルパターンのICデバイスに最適です。また、開発者における溶解性により、迅速なプロセスが可能になり、大規模なウェハ生産にとって魅力的な選択肢となります。