中古 SVG 8800 #9399021 を販売中

SVG 8800
製造業者
SVG
モデル
8800
ID: 9399021
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer systems, 6".
SVG 8800はShipley Companyによって提供される高度のフォトレジスト装置です。このシステムは、最新かつ最も精度の高いリソグラフィープロセスをベースにしており、最高レベルのリソグラフィー製品を開発するための高いレベルのサポートをユーザーに提供します。8800単位はプリント基板のための優秀なフォトレジストのイメージを製造するために複数の部品を含んでいます。これらのコンポーネントには、専用のVeecoスキャナ、高解像度光学、マイクロメーターステージ、および最適化された化学セットが含まれます。Veecoスキャナは、プリント基板のフォトレジスト層の細かい特徴を追跡するために使用できるビームスキャン機の一種です。このスキャナは、SVG 8800ナノメートルまでの範囲の明るさを持つ光信号を出力しながら、長さ3千分の1インチのスキャンスポットを生成することができます。この精度は、高度に定義されたフォトレジストパターンの再現性に必要です。高解像度光学系は、フォトレジスト材料と周辺部品によって作成することができる散乱反射光と余分な光をキャッチするように設計されています。散乱した光を集めるプロセスは「、光の集まり」と呼ばれ、トレース中にそれらの特徴に正確に到達するために、特徴がどこにあるかを正確に特定することができます。スキャンされたデータをフォトレジスト材料に転送するプロセスが行われると、マイクロメーターのステージが優れた精度を提供するために使用されます。マイクロメートルの段階はユーザーに設計の望ましい決断に従ってレーザーおよび感光性材料の位置を調節する方法を与えます。最後に、最適化された化学セットには、生産された抵抗特性を最適化するために、すべてが相互作用する化学物質の選択が含まれています。この化学薬品セットは、完璧にフォトレジスト製造プロセスを完了するために、8800ツールの他のコンポーネントと一緒に動作することがテストされ、証明されています。全体として、SVG 8800は、複雑なフォトレジストパターンを作成する際にユーザーに究極の制御と精度を提供するために作られた堅牢で専用のフォトレジストアセットです。モデルのすべてのコンポーネントを組み合わせて使用することで、ユーザーは必要な最高品質の完成品を得ることができます。
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