中古 SVG 8800 #9307770 を販売中

SVG 8800は、集積回路の製造に使用されるフォトレジストシステムです。それは高解像度と精度を提供するように設計されています。8800は、ウェット開発とドライエッチングプロセスの両方を処理する能力を持っており、直径8インチまでの基板を処理することができます。このシステムには、イメージングレーザーソース、イメージングオプティクス、スキャナー、ビームプロファイラ、レーザーモーションコントローラ、およびさまざまなフォトレジストコーティングおよび加工チャンバーが装備されています。イメージングレーザー源は、基板上のフォトレジストをパターン化するために必要な光源を提供します。光源から放出される光は、フォトレジストをレーザー光に効率的にさらすために必要な波長と強度レベルに調整されます。イメージングオプティクスは、レーザー光源から発光する光をフォトレジスト表面に集中させます。これにより、フォトレジスト層の正確なパターンが生成されます。その後、スキャナは焦点光を使用して基板上のフォトレジストをパターン化します。ビームプロファイラは、レーザービームのビームプロファイルを測定するために使用されます。これにより、光強度を微調整し、フォトレジスト層の最適なパターニングを実現することができます。レーザーモーションコントローラは、生成された光パターンに最低限の歪みがあり、同時に正しい線量分布を維持するために使用されます。x、 y、 z軸に沿ってレーザー位置を調整することで、レーザー光線のアライメントとフォーカスを調整し、フォトレジスト層の最適な照明を得ることができます。フォトレジストのコーティングと加工チャンバーは、ユーザーがそれに応じてフォトレジストをコーティングして開発することを可能にします。これらのチャンバーには、スピナー、圧力容器、ディスペンスヘッド、および温度制御システムが装備されています。これらのシステムはすべて、フォトレジストが最適な定義と層の厚さでコーティングされ、開発されていることを保証するために一致して動作します。SVG 8800は、信頼性が高く効率的な高度なフォトレジストシステムです。フォトレジストの製造にはさまざまな側面を考慮しており、設計者は優れた精度と信頼性でデバイスをパターン化することができます。