中古 SVG 8800 #9296280 を販売中

SVG 8800は、集積回路の製造用に設計された次世代フォトレジスト機器です。このシステムは、高分解能の5軸ガルボユニット、高度なリソグラフィー、およびナノメトリクスと共同で設計された化学成膜など、さまざまな先進技術を備えており、高い歩留まりとコスト削減を実現しています。8800の中核となるのは、フォトレジスト層の表面に超微細な画像を投影できる光学系をベースとした高度なリソグラフィ技術です。これにより、サブミクロンのパターンをウェーハ上に正確に転送することができ、露出エネルギーでの歪みを最小限に抑え、500 mJ/cm2も低減できます。この高度なリソグラフィーマシンは、フィールドとフォーカス制御の深さも優れており、誤差を最小限に抑えてウェーハ上のフォトレジストパターンの正確な登録と位置決めを可能にします。反復可能で信頼性の高い結果を保証するために、SVG 8800にはパターンのアライメントと位置決めのための5軸ガルボツールが含まれています。この高速かつ正確なアセットは、セットアップ時間とコストを削減するように設計されており、回路基板の製造に迅速なチャーン時間を提供します。8800はまた、フォトレジストの基板への直接パターン転送を可能にする高効率の化学成膜技術を含みます。このプロセスは、Si、 GaAs、 Al2O3、 TaNなどの幅広い基板材料と互換性があります。この技術は、均一性、優れた欠陥カバレッジ、および信頼性の高い接着性を提供します。最後に、SVG 8800は高度なソフトウェアモデルを搭載しており、ユーザーはフォトレジストプロセスのすべての側面を迅速に構成および管理できます。この包括的な制御装置は、高度な精度とジョブの自動化、およびプロセスの可視性と監視機能を可能にします。オートメーション機能により、8800はフォトレジストジョブごとに適切な条件を迅速に設定、最適化、検証することもできます。SVG 8800システムは、大量のフォトレジスト生産に理想的なソリューションであり、高い歩留まりと最大の稼働時間で効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。高度なリソグラフィ、高精度ガルボシステム、高度な堆積技術、包括的なソフトウェアを組み合わせることで、8800はフォトレジストのニーズに最適なソリューションを提供します。