中古 SVG 8800 #9296253 を販売中

製造業者
SVG
モデル
8800
ID: 9296253
ウェーハサイズ: 4"
(3) Coater / Developer system, 4".
SVG 8800は、多種多様な材料で極めて精密な微細構造を作成するために使用される高度なフォトレジスト装置です。特殊な紫外線光源を使用して、複雑なパターンや構造をエッチングするために使用できる材料の表面に画像を作成します。8800は、膜厚やパターン分解能のサブミクロンゾーン変動を生成することができ、幅広い用途に対応できます。このシステムは、材料の表面に画像を作成するためにリソグラフィを採用しています。それは、3次元画像を生成するマイクロフィールド発電機と呼ばれる超紫色光源から始まります。この画像は、ダイヤモンドコーティングされた露出ベルに投影されます。露出ベルには、光に敏感な染料として機能し、紫外線を写真に変換するフォトレジストのフィルムがあります。フォトレジストはレーザーを使用してスキャンされ、超紫色の画像を読み取り、データをファイルに保存します。データは、材料に適用されるエッチングマスクを作成するために使用されます。最後に、材料はマスクに基づいて非常に精密なエッチングのためのエキシマレーザーにさらされます。SVG 8800ユニットは、パターン解像度の広い非常に精密なパターンとテクスチャを作成することができます。最大の均一性を備えた20ナノメートルの特徴を持つパターンをエッチングすることができ、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)やナノマテリアルなどのアプリケーションに最適です。また、パターン要素を正確に配置できるため、さまざまなサーフェスから複雑な形状を簡単に作成できます。全体として、8800は複雑で精密な微細構造を作成することができる信じられないほどのフォトレジストツールです。ダイヤモンドコーティングされた露出ベルは、高精度と高精度を必要とする複雑な形状と機能のエッチングに最適です。その汎用性の高い機能のセットは、マイクロエレクトロメカニカルシステムやナノマテリアルから産業および家電まで、幅広い用途を可能にします。
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