中古 SVG 8800 #9265345 を販売中
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SVG 8800は、極小基板上の加工マスクの高精度アライメントを可能にするフォトレジスト装置です。電子回路などの精密部品の製造工程に活用されています。8800には、1つの露出システムと、自動または手動の基板アライメント用の2つのオプションが用意されています。この露出ユニットは、マスクホルダー4基とマスクアライメントされたXYアクチュエータを備えた1260シリーズのFPD(フラットパネルディスプレイ)露出ユニットを使用しています。この機械は最低のゆがみと正確な直線を提供するように設計され、高解像度の表示の生産に特に適しています。基板アライメントの場合、SVG 8800はサブミクロン精度のステージと自動アライメントツールを備えています。このアセットは、1ミクロン以下のアライメントエラーを検出し、それに応じて基板を調整することができます。オートアライメントモデルは、基板のすべての軸のずれを検出できる専用のリニアエンコーダを使用しています。この機能により、加工されている基板タイプに関係なく、基板を最適に配置できます。動作速度の面では、8800は1時間あたり最大50ウェーハの速度で処理することができます。この速度は、高精度と高速の両方が望まれる生産アプリケーションに最適です。SVG 8800の特徴は、半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、コンピュータチップなど、幅広い製品の製造に適しています。サブミクロン精度アライメントを必要とするあらゆる用途で精密な結果が得られるように設計されており、急速な生産速度を提供できるため、あらゆる生産設備に最適です。
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