中古 SVG 8800 #9238269 を販売中

SVG 8800は半導体産業の生産の使用のために設計されている最先端のフォトレジスト装置です。電子デバイスの製造において、プロセス制御や精度に使用できる高精度の感光素子を製造することができます。このシステムは、最大4ミクロンの複雑な形状を簡単にパターン化することができ、業界で可能な限り最高の品質基準を保証します。8800は、一貫した反復可能な結果を保証するクローズドループ露出ユニットを介して動作します。本機は、フォトレジストの光への露出を正確に制御するために、レンズ、フィルター、レンズ、楕円計の複雑な配列を介して動作します。これにより、ドライフィルム、写真撮影可能なレイヤー、またはこれら2つの組み合わせとの互換性が向上します。プロセスは、ウェーハ上のフォトレジストのアプリケーションから始まります。精密なパターンが機械にプログラムされた後、フォトレジストが所定の波長の光にさらされる露光室に移動します。この光は、楕円計で検出できる必要な強度に達するまで、レンズ、フィルター、レンズによって処理されます。これは、フォトレジストがどれだけ露出され、どのくらいの時間がかかるかを測定するために使用されます。露出が完了すると、マシンは開発者/インジェクタのセットアップによって露出が処理される開発チャンバーに移動します。これは、露出および開発段階に関与するさまざまなコンポーネントから情報を収集し、最大限の精度と一貫性を確保するクローズドループ・ツールです。開発者がアセットに追加されたら、フォトレジストを洗い流して、ウェーハに必要なパターンを明らかにする必要があります。最も要求の厳しいアプリケーションのために、SVG 8800は露出と開発プロセスによって残された粗いエッジを滑らかにして洗練するための高度な後処理機能を提供します。この機能は、従来のフォトリソグラフィープロセスでは不可能だった複雑な形状を作成するのに特に役立ちます。8800はあらゆる製造の必要性のための速く、信頼できる解決です。従来のプロセスに比べて速度と精度を向上させ、より高い品質と精度の結果を得ることができます。使いやすいコントロールとユーザーフレンドリーなインターフェースにより、このモデルはあらゆる半導体製造プロセスに最適です。