中古 SVG 8800 #9188723 を販売中
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SVG 8800 Photoresist Equipmentは、さまざまなフォトレジスト用途向けに設計された汎用性が高く、費用対効果が高く、使いやすいフォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、高精度の電動ズームレンズ、温度制御された真空チャック、露出パラメータと露出するパターンの両方を高度に制御するための堅牢な電子機器を内蔵しています。このマシンはモジュラー設計であり、ユーザーは特定のフォトレジスト要件に合わせてツールを変更し、さまざまな露光ニーズに合わせてアセットを構成することができます。8800モデルには、フォトレジストプロセスで使用される光源の電源、チューニング、制御に使用できる光源コントローラが含まれています。このコントローラは、敏感で困難な抵抗材料の両方に直流または従来のAC電源を提供するように構成することができます。また、真空チャックコントローラを搭載しており、フォトレジスト工程で使用する真空チャックの温度を正確に制御し、露出時のレジストのベーキングを回避できます。真空チャックコントローラは、露出結果を最適化するために真空圧力を制御するためにも使用されます。SVG 8800フォトレジストシステムは、露出パターニングを自動化するためにプログラムすることができ、ユーザーはユニットのダウンタイムを最小限に抑えることができます。ソフトウェアを使用することで、アプリケーションごとにパターニングを最適化することができます。露出サブシステムは、大小の基板の位置決めに使用される電動ズームレンズと電動ステージで構成されています。レンズとステージの両方は、ユーザーインターフェイスを介して手動またはリモートで制御することができます。このマシンには、基板の画像をキャプチャし、フォトレジスト露光プロセスの前後にレジストパターンを分析するために使用されるフォトメーターが含まれています。これにより、ユーザーは最高の品質の結果を保証するために必要な調整やパターンの微調整を行うことができます。8800フォトレジストツールには、さまざまな校正ツールと高度な診断機能が含まれており、アセットを維持して最適なパフォーマンスを維持できます。診断ツールは、プロセスに関するリアルタイムのフィードバックをユーザーに提供し、困難なレジスト材料を処理する際のトラブルシューティング機能を提供します。SVG 8800モデルは、さまざまなサードパーティ製システムと統合して、特殊なアプリケーションとのシナジーを可能にします。これらの機能により、ユーザーはフォトレジスト機器への投資を最大化し、さらなる成長と技術進歩の可能性を開くことができます。
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