中古 SVG 8800 #9094408 を販売中

SVG 8800は、フォトリソグラフィと集積回路（IC）のエッチングの両方に使用されるフォトレジスト機器です。高分子、有機、金属、複合材料などの材料を加工するための汎用性の高いツールです。ハイエンドのフォトリソグラフィーシステムとして、8800は高度なプロセス要件と高精度の重要なデバイス製造に使用されます。SVG 8800は、液浸スキャナ、ビームソース、デジタルパターンジェネレータ、イメージキャプチャまたは強化された光学構成で構成されています。液浸スキャナは、IC解像度を50nmまでサポートするさまざまなスキャンフィールドを提供します。1。35の高い数値開口（NA）と特別に設計されたマスクプレートを使用して、プロセス緯度を増加させます。ビームソースは、パルスエキシマーレーザー、ビームシェーピングユニット、および532nm波長で発する周波数2倍のNd:YVO4レーザーで構成されています。波長、焦点、パルスエネルギーの選択を提供し、被写界制御の深さが高いフォトマスクを正確に露出させます。デジタルパターンジェネレータは、回路設計アプリケーションデータをビームソースに必要な正確な印刷パラメータに正確に変換する自動マシンです。これにより、基板露出をさまざまな材料やプロセスに最適化できます。画像キャプチャと強化された光学構成は、印刷前後の基板から高解像度の画像をキャプチャします。また、レイヤー（CTL）測定、ステッチ測定、およびチャネル特性に重要なパターンを実行します。要約すると、8800は、処理とイメージングの両方に優れた性能を提供する高度なフォトリソグラフィーツールです。より高い数値開口、パルスエネルギー制御、自動パターンジェネレータ、高解像度画像キャプチャなど、さまざまな機能を備えています。これらを組み合わせることで、最大50nmの解像度のIC製造に精密な処理を提供できます。