中古 SVG 8800 #293619532 を販売中

SVG 8800フォトレジスト装置は、高精度のリソグラフィを提供するために構築された最先端のシステムです。このユニットは、強力なレーザーマシンと最大限の精度と応答性を確保するためのダイレクトドライブx/yポジショニングステージで構成されています。このツールは、0。1 umの再現性で20nmまでのサイズの正確な均一なパターンを自動的に書き込むことができます。レーザーは355nmと532nmの間のあらゆる波長に調節することができます、いろいろなフォトレジストの基質を開発するとき非常に柔軟性を可能にします。アセットの電動ステージ、マイクロポジショナー、および高精度オプティクスは、非常に安定した正確なプラットフォームを提供し、繰り返し可能で一貫した測定を可能にします。モデルは、一貫した密度でパターンを自動的に露出するだけでなく、正確で繰り返し可能な結果を持つ任意の複雑なパターンを作成することができます。これにより、異なる基板に変更した場合でも、フォトレジストの一貫したパターニングが可能になります。この装置には、基板を保持し、熱シフトを最小限に抑えるための真空チャックも装備されています。また、ビデオ監視や測定機能など、さまざまな高解像度デジタルビデオ機能を備えています。これらの機能は、露出中にパターンの状態と位置を監視し、正確さと均一性を確保するのに役立ちます。さらに、8800には強力な画像解析パッケージが付属しており、ユーザーは正確さを確保するために自分の結果を詳細に分析することができます。このユニットには、マシンのセットアップと使用を簡単にするためのさまざまなユーザーフレンドリーな機能もあります。例えば、プログラム可能なセットポイントを備えているため、ユーザーは特定の使用シナリオを簡単にカスタマイズできます。また、リソグラフィのクリーンアップ、レジスト化、ドライレジスト加工などのポストプロセス機能に簡単にアクセスできます。このツールには、保存されたパターンの簡単な作成、保存、編集を容易にする統合されたユーザーインターフェイスも付属しています。SVG 8800 Photoresist Assetは、フォトリソグラフィーユーザーにとって強力で信頼性の高いツールです。精度と精度、ユーザーフレンドリーな機能を兼ね備えているため、どのラボでも貴重な資産となっています。