中古 SVG 8800 #1220 を販売中

SVG 8800フォトレジスト装置は、極端紫外線（EUV）リソグラフィで使用されるリソグラフィーツールです。このシステムは正確で効率的で費用対効果が高く、低コストでより高いスループットを実現します。EUV光によるリソグラフィープロセスで高度なパターニング機能を作成することができます。このユニットにはスキャンおよびステッピングモジュールが搭載されており、時間とコストを削減しながら、正確な精度でウェーハ上に高解像度の機能を作成することができます。これは、広範囲の光パワーレベルに対応できる超高速スキャンおよびステッパー機構で実現します。このマシンの最も革新的な特徴の1つは、ウェーハ表面にマイクロスケールの機能を作成することを可能にする高度な多層フィルム蒸着モジュールです。その多層蒸着ツールは、より正確なパターニングのための材料層の正確な厚さを作成します。また、超薄膜の成膜も可能で、小型でパターンを作成することができます。モデルのスキャンおよびステッパー面に加えて、8800には基板準備段階とクリーンルーム環境も含まれています。基板の準備段階は、レジストやコーティングのための基板を洗浄し、化学処理するために使用され、クリーンルーム環境は、リソグラフィ露出のための制御環境を提供します。これは、最高品質のEUVパターニング結果を確実にするのに役立つため、リソグラフィープロセスの重要なステップです。SVG 8800フォトレジスト装置には、高精度のアライメントサービスも含まれています。これにより、ユーザーはシステムのステージにウェーハと基板を迅速かつ正確に配置できます。このユニットには、機械によって作成されたパターンの精度を測定および検証するための高度な検査システムも含まれています。全体として、8800フォトレジストツールは、EUVプロセスのための強力で効率的なリソグラフィーツールです。高精度で費用対効果の高いリソグラフィを幅広い用途で提供し、高品質な結果を得るための高スループットを提供します。アセットの基板準備とクリーンルーム環境により、高品質のパターニングが保証され、アライメントおよび検査サービスは、作成されたパターンの正確性と完全性を維持するのに役立ちます。